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刀具/多晶硅片/精密陶瓷超硬砂輪

硅片減薄砂輪主要應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓的減薄與精研加工。

加工對象：分立器件、集成電路襯底硅片及原始硅片等
工件材料：單晶硅等半導(dǎo)體材料
應(yīng)用工序：背面減薄、正面磨削的粗磨加工和精研加工
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